대학 벤처기업으로 시작하여 20년이상 축척된 기술력!!
다수의 국제저명학회지 논문발표 및 특허취득!!

세라믹 진공척 / 에어 부상 유닛 Ceramic vacuum chuck / Air floating unit

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균일한 크기의 기공들로 왜곡과 긁힘 없이 부분흡착 부터 대면적까지!!

대면적 세라믹 진공척 (Large ceramic vacuum chuck)

기존의 금속 흡착판을 미세 기공을 갖는 다공성 세라믹으로 대체한 진공척 제품입니다. 대면적으로도 부분흡착 및 균일한 부착력을 갖는 특징이 있습니다.  특히, 대면적 제품은 3,000 × 1,500 mm 등. 납품 실적과 안정적인 양산 체계를 통해 이미 상용화 수준의 신뢰성을 증명하고 있습니다.

에어 부상 유닛 (Air floating unit)

다공성 세라믹을 이용한 비접촉 에어 프로팅 유닛(non-contact air floating unit)은 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태로 제작 가능합니다. 또한 소결 세라믹 소재를 베이스로 하기 때문에 카본 소재 등을 사용하여 제작하는 기존 제품 대비 비산 미세입자가 발생하지 않는 특징을 갖습니다.

반도체 패키징공정의 진공척 적용

[일반 Dicing 공정]

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진공척 적용

[진공척 적용후]

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Operation principle

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Characteristics

  • 진공척의 핵심 부품인 패드의 소형화 및 경량화 달성
  • 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태 선택 가능
  • 비산 미세 입자가 발생하지 않음
  • 진공도에 견디는 고강도 발현
  • 평면도 5/1000까지 정밀 가공 가능

Application

  • 웨이퍼, PCB, 글래스등 검사장비
  • 웨이퍼 Dicing 공정
  • 반도체 패키징 공정
  • 웨이퍼 필름등 이송장비

Specifications

Specifications Value Unit Remark
Ceramic pad Properties Bulk density 2.0 [g/cm3] Primary material : Alumina
Bending strength 86 [MPa]  
Surface resistance 106 ~ 109 [Ω/sq]  
Surface roughness 1 ~2 [μm] Ra 기준
Surface hardness > 95 [HS]  
Pore size 5 - 15 [μm]  
Porosity 45 ~ 47 [%]  
Color Black, White [-]